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            > 提高多晶硅的純化和沉積效率的方法和裝置

            提高多晶硅的純化和沉積效率的方法和裝置

            692   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 14:50:23
            本發明提供了由諸如冶金級硅的不純的硅來源商業規模地生產 含有一種或多種定制水平的n-型和p-型雜質的純化多晶硅顆粒的方 法和裝置。該純化系統和方法包括:(1)一個或多個系列的設置有雙 流化床的溫控反應器或容器,其中轉運固體和氣體,以使得通過嚴 格控制溫度和停留時間來實現固體硅的不同程度的純化和沉積;(2) 分離和回收高熔點雜質的化合物,如FeSi和FeI2;(3)純化、分離 和再循環四碘化硅;(4)在連續分餾塔中,由碘回流促進,分離和回 收較低沸點的液體雜質的碘化物,如AlI3;(5)在分餾塔的下游分離 和回收液體混合物中的非常細的固體微粒,包括雜質碘化物和元素 硅;(6)由工藝中的固體和液體碘化物雜質廢物流的氧化回收輸入 碘。
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