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第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
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第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
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濺射靶用靶材的制造方法

1079 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-18 14:46:01

本發明公開一種靶材的制造方法,是利用粉末冶金法制造濺射靶的靶材的方法,其包括:對于每一個成型后的被燒結體,從該被燒結體的一端開始進行燒結的加熱工序;該加熱工序優選為,對每一個所述被燒結體,使該被燒結體同時跨過兩個以上的設為不同溫度的相鄰區域、一邊搬送一邊加熱的工序。根據本發明,在加熱工序中,對于每一個被燒結體,升溫時通過在其兩端設定溫度差,可以從一端開始順序加熱,從而進行燒結,即,在制造長尺寸以及大型的靶材時,也可以使燒結工序從被燒結體的一端開始順序進行,使該燒結體的由燒結引起的收縮也順序產生,因此,可以提高最終獲得的靶材的密度,改善密度不均的同時還可以防止發生彎曲變形以及裂紋。

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聲明：

“濺射靶用靶材的制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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報告下載

1 鋰資源綜合利用關鍵技術

下載:192

2 綠色高效提煉稀有金屬的研究

下載:160

3 我國主要有色金屬濕法冶金技術現

下載:155

4 銅冶煉過程砷的控制和無害化處置

下載:134

5 銅冶金與鋼鐵基于雙碳的學科融合

下載:116

6 紅土鎳礦加壓浸出及精煉新工藝

下載:113

7 礦相重構鋰云母礦以同步提取鋰銣

下載:111

8 雙碳戰略背景下的我國銅工業

下載:110

9 硫代硫酸鹽綠色提金及銅冶金固廢

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10 赤泥脫硫脫硝、回收鐵鋁及固化重

下載:107

赤泥綜合利用研究報告2025

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