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            多晶硅除磷裝置及方法

            952   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 14:35:02
            本發明一種多晶硅除磷裝置及方法,該裝置包括真空室,所述真空室內設有石墨坩堝,所述石墨坩堝外設有保溫套,所述保溫套外周面纏繞有感應線圈,所述石墨坩堝下方設有石墨墊,石墨墊下方設有水冷盤,所述水冷盤連接收料桿,所述石墨坩堝由上至下分為熔融段、蒸發段和凝固段,所述熔融段與蒸發段之間有隔板,所述隔板上有供硅液通過的進料孔,進料孔處安裝有可活動的擋板,所述蒸發段內部設有若干水平交錯設置的折流板,底部設有出料孔;所述凝固段的內腔為錐形,底部石墨墊密封配合。本發明通過將硅液通過折流板自然下落,在下落過程中,硅液表面積增加,提高了蒸發除雜的效果,而且成本控制較好。
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